半導體供應鏈中特殊氣體和化學品大廠宏廣新技，今(27)日啟用位於台南科技工業區的專業氣體純化分裝工廠，以及耗資1億元的高純化氣體奈米實驗室。AIR WATER社長松林良祐、日本三井物產室長松山尚史及台灣三井物產董事長尾嵜朋史親自出席，台灣半導體產業知名企業、崇越科技、台井科技、東聯化學、經濟部投資台灣營運長陳明珠、AIT 美國在台協會、亞利桑那州駐台貿易投資辦事處、立委陳亭妃等多位貴賓親自蒞臨剪綵。
▲宏廣新技新廠落成，第二期2,600坪廠房也將在年底啟用（圖／記者林怡孜攝，2023,10,27）
宏廣新技自111年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社(AWI)，以及百年企業三井物產株式會社(MBK)兩家日商企業入股後，不僅握有全球稀缺的原物料資源，藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術，並投資在南科工的新廠擴建，第一期廠區2,400坪，將生產半導體級超純度二氧化碳CO2每月達1,200噸及一氧化二氮N2O每月達140噸，接著第二期2,600坪廠房，也將在年底啟用，作為特用氣體倉儲使用，以及製造氟碳類氣體產品，預計到2026年宏廣將成為台灣主要半導體特殊氣體製造廠之一，提供特殊氣體種類將超過8-9種以上，完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術，在地化短鏈供應。
宏廣新技董事長林菊梅指出，在全球聚焦在碳捕捉CCUS的議題下，宏廣具備最先進的CO2捕捉與純化技術，將石化鋼鐵工業產出的工業級CO2副產物，純化為半導體廠所需求的超高純CO2，超高純度的二氧化碳在EUV製程裡作為一個激光發射器的很重要介質，因此氣體的純度會影響到整個製程的良率，目前超高純6N的CO2用在EUV極紫外光的曝光機，宏廣台南廠已可生產8N超高純度的CO2，用在7奈米製程，甚至是5奈米以下，高端製程愈精進發展，對CO2的純淨度的要求只會更為嚴苛。
台南市經發局局長表示，本次宏廣新技選擇投資超過4億元於台南科技工業區興建廠房，用地面積2,344平方公尺、樓地板面積2,974平方公尺。公司擁有專業半導體氣體的高純製造及分析技術，結合日商新團隊的技術能力，對應最先進的高純度氣體達7N以上的品質要求，以及嚴格的品質管理與分析能力，能迅速釐清並解決客戶問題。
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宏廣新技自111年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社(AWI)，以及百年企業三井物產株式會社(MBK)兩家日商企業入股後，不僅握有全球稀缺的原物料資源，藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術，並投資在南科工的新廠擴建，第一期廠區2,400坪，將生產半導體級超純度二氧化碳CO2每月達1,200噸及一氧化二氮N2O每月達140噸，接著第二期2,600坪廠房，也將在年底啟用，作為特用氣體倉儲使用，以及製造氟碳類氣體產品，預計到2026年宏廣將成為台灣主要半導體特殊氣體製造廠之一，提供特殊氣體種類將超過8-9種以上，完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術，在地化短鏈供應。
宏廣新技董事長林菊梅指出，在全球聚焦在碳捕捉CCUS的議題下，宏廣具備最先進的CO2捕捉與純化技術，將石化鋼鐵工業產出的工業級CO2副產物，純化為半導體廠所需求的超高純CO2，超高純度的二氧化碳在EUV製程裡作為一個激光發射器的很重要介質，因此氣體的純度會影響到整個製程的良率，目前超高純6N的CO2用在EUV極紫外光的曝光機，宏廣台南廠已可生產8N超高純度的CO2，用在7奈米製程，甚至是5奈米以下，高端製程愈精進發展，對CO2的純淨度的要求只會更為嚴苛。
台南市經發局局長表示，本次宏廣新技選擇投資超過4億元於台南科技工業區興建廠房，用地面積2,344平方公尺、樓地板面積2,974平方公尺。公司擁有專業半導體氣體的高純製造及分析技術，結合日商新團隊的技術能力，對應最先進的高純度氣體達7N以上的品質要求，以及嚴格的品質管理與分析能力，能迅速釐清並解決客戶問題。