上銀晶圓移載模組 通過SEMI S2國際安規認證

（中央社記者鍾榮峰台北13日電）傳動元件大廠上銀深耕半導體設備，晶圓移載模組（EFEM）通過SEMI S2國際安規認證。

上銀新聞稿指出，今天在台中營運總部舉行SEMIS2國際安規認證授證典禮，開發團隊通過晶圓移載模組的認證。

SEMI S2是國際半導體設備及材料產業協會（SEMI）針對製程設備供應商規範的安全標準，是國際間各半導體製造廠商採購設備的重要依據。

上銀晶圓移載模組通過SEMI S2設備安全衛生環保基準認證，對於晶圓機器人進入半導體設備產業產生更多機會，可滿足半導體設備在晶圓生產過程中的品質與安全需求。

上銀晶圓移載模組可依客戶需求例如Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點在席感測等進行規劃，並依產品規格搭配對應款式晶圓機器人，提升設備和製程效率。（編輯：楊凱翔）1070913