台積電原先規劃在龍潭園區三期打造2奈米以下、1.4奈米製程晶圓廠，但日前傳出反龍潭科學園區第三期擴建案自救會指出「台積電決定放棄該擴建案」。為此，台積電今（17）日對外表示，經公司評估後在現階段條件下不再考慮進駐龍潭園區三期，未來公司仍會維持過去擴廠步調，將持續與管理局合作評估台灣適合半導體建廠的用地。
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竹科龍潭園區擴建計畫攸關台積電2奈米以下建廠用地，之前竹科管理局指出，龍潭園區擴建計畫土地共約158.59公頃，將提供2奈米及以下技術的研發與量產進駐用地，等開發完成後，可創造平均年產值約為6000到6500億元，提供約5900個就業機會。不過該擴建計畫因為強制徵收包括私人土地以及國小等土地，引起在地居民反彈，並組成自救會，也曾上凱道抗議。
反龍潭科學園區第三期擴建案自救會13日臉書po文，指出竹科管理局、台積電及自救會三方代表進行對談，會中，台積電代表明確表示，對於因龍潭科學園區第三期擴建案而引發的龐大社會爭議，台積電深感不安也認同龍潭在地鄉親愛護土地及家園的強烈情懷，因此台積電決定放棄原本在該擴建案內的設廠計畫。
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隨後竹科管理局14日指出，新竹園區及龍潭園區土地均已滿租，考量北台灣高科技人才密集、產業聚落成熟及交通便利，且水電供應等配套措施均能因應，園區仍有多家半導體產業希冀能持續在龍潭園區周邊發展，強調將重新調整龍潭園區擴建範圍，兼顧產業發展與民眾權益、達到雙贏局面。
而台積電今日對外表示，台積電是科學園區土地的企業租戶，園區規劃為政府權責，公司尊重居民及主管機關，無法進一步評論土地徵收一事。但經評估後，在現階段條件下不再考慮進駐龍潭園區三期。為維持過去擴廠步調，台積電將持續與管理局合作評估台灣適合半導體建廠的用地。