為提升能源使用效率與節能成效，台積電為實現民國139年淨零排放承諾，公司將積極創造更多節能減碳機會點，並與供應商合作改良壓縮乾燥空氣系統的冷卻機制，以廢熱回收溫水進行預冷作業，成功節省冰水用量80%並達到節電效果，截至民國112年6月，已導入晶圓十八廠第4期廠區，節電650萬度、減碳3,300公噸，晶圓十二廠第8期廠區、晶圓十八廠第5期與第6期廠區、先進封測6A廠區亦同步進行驗證，深化綠色營運量能。
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台積電ESG電子報上指出，壓縮乾燥空氣系統由空壓機、儲氣筒、乾燥機及過濾器所組成，主要將空氣壓縮、除濕並過濾後傳送至無塵室，其中空壓機的前、中、後段熱交換器過往皆由冰水系統供應12℃冰水以利冷卻。
為更精進系統運轉與冰水使用效益，台積電於民國109年攜手供應商啟動「壓縮乾燥空氣系統冷卻機制改造專案」，針對空壓機設計變更與供氣溫度的穩定性進行評估。
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經多次改造測試後發現，在確保冷卻效果及供氣品質無虞的前提下，以28-30℃回收溫水取代12℃冰水預冷空壓機前段與中段熱交換器、搭配後段維持12℃冰水控溫的冷卻模式，不僅有效降低冰水系統負載、提升節能成效，且完成預冷作業的溫水還可供應外氣空調箱的預熱及再熱盤管使用，最大化資源利用價值。
呼應聯合國第7項永續發展目標，台積電不斷擴大節能效益範疇，將改良後的壓縮乾燥空氣系統列為新建廠標準設計，預計民國113年完成晶圓十四廠第8期廠區、晶圓十八廠第7期與第8期廠區、先進封測6B廠區導入，預估可年省電4,000萬度、減碳2萬360公噸，相當於52.6座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量，台積電將持續實踐綠色創新，朝永續共好未來邁進。